API激光干涉儀的核心在于其采用的雙頻激光技術(shù)。與常見(jiàn)的單頻激光干涉儀不同,API的激光源(通常為He-Ne激光管)通過(guò)塞曼效應(yīng)或聲光調(diào)制,產(chǎn)生兩個(gè)頻率略有差異(通常差幾MHz)的正交偏振光束(通常為f1和f2)。這一設(shè)計(jì)帶來(lái)了革命性的優(yōu)勢(shì):
抗環(huán)境干擾能力強(qiáng):雙頻激光干涉儀的測(cè)量信號(hào)基于兩個(gè)頻率的差頻(f1-f2),這個(gè)差頻信號(hào)非常穩(wěn)定。即使激光管本身因溫度、振動(dòng)等因素導(dǎo)致頻率發(fā)生漂移,只要兩個(gè)頻率的漂移量相近,差頻信號(hào)幾乎不受影響。這使得API激光干涉儀在車間等非理想環(huán)境下仍能保持高的測(cè)量穩(wěn)定性。
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